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器件制備設(shè)備
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產(chǎn)品概述▼
磁控離子濺射儀可用于在柔性電子器件、柔性傳感器件制作環(huán)節(jié)中制備電極層，鍍金、鉑、銀等金屬電極，也可以用于電鏡樣品制備。
產(chǎn)品特點(diǎn)▼
●制備樣品顆粒精細(xì)
● 可選靶材范圍廣泛
● 樣品室空間充足，可單次制備多個(gè)樣品
技術(shù)參數(shù)▼
工作原理 | 磁控濺射 | 靶材尺寸 | φ57*0.1mm(Pt) |
真空室 | φ130*130mm高透光高硼硅玻璃 | 樣品臺(tái)尺寸 | φ64mm |
工作氣體 | 空氣/氬氣 | 保護(hù)功能 | 過流保護(hù)，真空保護(hù) |
技術(shù)指標(biāo)可能會(huì)因產(chǎn)品升級(jí)完善而改變，實(shí)時(shí)參數(shù)請聯(lián)系銷售經(jīng)理
